美国MOOG伺服阀公司的发展史：在二战末期，伺服阀是用螺线管直接驱动阀芯运动的单级开环控制阀。然随着控 制理论的成熟及应用的需要，伺服阀的研制和发展取得了巨大成就。 1946 年， 英国 Tinsiey 获得了两级阀的；Raytheon 和 Bell 航空发明了带反馈的两级阀；M IT 用力矩马达替代了螺线管使马达消耗的功率更小而线性度更好。1950 年，W.C.M oog *个发明了单喷嘴两级伺服阀。
1953 年至 1955 年间，T.H.Carson 发明了机 械反馈式两级伺服阀； W.C.Moog 发明了双喷嘴两级伺服阀；Wolpin 发明了干式力矩 马达，消除了原来浸在油液内的力矩马达由油液污染带来的可靠性问题。 1957 年 R. Atchley 利用 Askania 射流管原理研制了两级射流管伺服阀。并于 1959 年研制了三 级电反馈伺服阀。 1959 年 2 月国外某液压与气动杂志对当时的伺服阀情况作了 12 页的报道， 显示 了当时伺服阀蓬勃发展的状况。那时生产各种类型的伺服阀的制造商有 20 多家。各 生产厂家为了争夺伺服阀生产的霸权地位展开了激烈地竞争。回顾历史，可以看到zui 终取胜的几个厂家，大多数生产具有反馈及力矩马达的两级伺服阀。我们可以看到
 美国MOOG伺服阀公司的发展史1 960 年的伺服阀已具有现代伺服阀的许多特点。如：第二级对*级反馈形成闭环控 制；采用干式力矩马达；前置级对功率级的压力恢复通常可达到 50%；*级的机械 对称结构减小了温度、压力变化对零位的影响。同时，由早期的直动型开环控制阀发 展变化而来的直动型两级闭环控制伺服阀也已出现。当时的伺服阀主要用于领域， 随着太空时代的到来，伺服阀又被广泛用于航天领域，并研制出高可靠性的多余度伺 服阀等产品。 与此同时，随着伺服阀工业运用场合的不断扩大，某些生产厂家研制出了专门使 用于工业场合的工业伺服阀。如 Moog 公司就在 1963 年推出了*款专为工业场合 使用的 73 系列伺服阀产品。随后，越来越多的专为工业用途研制的伺服阀出现了。
 它们具有如下的特征： 较大的体积以方便制造； 阀体采用铝材 （需要时亦可采用钢材） ； 独立的*级以方便调整及维修；主要使用在 14MPa 以下的低压场合；尽量形成系 列化、标准化产品。然而 Moog 公司在德国的分公司却将其伺服阀的应用场合主要集 中在高压场合，一般工作压力在 21MPa，有的甚至到 35MPa，这就使阀的设计专重 于高压下的使用可靠性。而随着伺服阀在工业场合的广泛运用，各公司均推出了各自 的适合工业场合用的比例阀。其特点为低成本，控制精度虽比不上伺服阀，但通过先 进的控制技术和*电子装置以弥补其不足，使其性能和功效逼近伺服阀。1973 年， Moog 公司按工业使用的需要， 把某些伺服阀转换成工业场合的比例阀标准接口。 Bosch 研制出了其标志性的射流管先导级及电反馈的平板型伺服阀。
1974 年，Moog 公司推出了低成本、大流量的三级电反馈伺服阀。Vickers 公司研制了压力补偿的 K G 型比例阀。Rexroth、Bosch 及其他公司研制了用两个线圈分别控制阀芯两方向运 动的比例阀等等。美国MOOG伺服阀公司的发展史 三 国内外的现状 1 市场情况 目前，国内生产伺服阀的厂家主要有：航空工业总公司第六 O 九研究所、航空 工业总公司第六一八研究所、航空工业总公司秦峰机床厂、北京机床研究所、中国运 载火箭技术研究院第十八研究所、上海航天控制工程研究所及中国船舶重工集团公D663-1922E-4         
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