honeywell气流传感器
有的气流传感器都是依靠传热流量和压??差来操作的。硅芯片设计由薄膜隔热桥结构构成，包含加热器和温度感应元件。这提供了对空气或气体流量以及量和方向的快速响应，从而提供成比例的输出电压。放大版本提供增强的输出信号和更少的外部电路，而未放大的版本允许额外的外部电路选项。
霍尼韦尔提供：
*芯片设计，制造技术和微观结构技术
增强的响应时间和低功耗
各种端口类型提供了更大的应用灵活性
概观
包含增强传感器输出信号的附加电子元件。
按类型浏览放大型气流传感器可分为：

霍尼韦尔Zephyr?HAF系列 - 高精度±50 SCCM至±750 SCCM
霍尼韦尔（中国）Zephyr?HAF系列传感器提供了一个数字接口，用于在的满量程流量和补偿温度范围内读取气流。隔热加热器和温度感应元件可帮助这些传感器对空气或气体流动提供快速响应。
Zephyr传感器设计用于测量空气和其他非腐蚀性气体的质量流量。标准流量范围有±50，±100，±200，±400或±750 SCCM。自定义流量范围也是可用的。传感器通过板载集成电路（ASIC）进行*校准和温度补偿。
HAF系列可在0°C至50°C（32°F至122°F）的温度范围内进行补偿，并可在-20°C至70°C（-4°F至158°F ]。的基于ASIC的补偿功能可提供数字（I 2 C）输出，响应时间为1 ms。
这些传感器根据传热原理来测量质量气流。它们由微晶硅微电子和微机电系统（MEMS）组成，温敏电阻沉积有铂和氮化硅薄膜。MEMS传感芯片位于且精心设计的气流通道内，以提供可重复的流量响应。
Zephyr传感器为客户提供增强的可靠性，高精度，可重复的测量以及定制传感器选项以满足许多特定应用需求的能力。坚固的外壳与稳定的基材组合使这些产品非常坚固。它们根据ISO 9001标准设计和制造。

霍尼韦尔Zephyr?HAF系列 - 高精度10 SLPM至300 SLPM
概观
霍尼韦尔（中国）Zephyr?HAF系列传感器提供了一个数字接口，用于在的满量程流量和补偿温度范围内读取气流。隔热加热器和温度感应元件可帮助这些传感器对空气或气体流动提供快速响应。
Zephyr传感器设计用于测量空气和其他非腐蚀性气体的质量流量。标准流量范围为10 SLPM，15 SLPM，20 SLPM，50 SLPM，100 SLPM，200 SLPM或300 SLPM，并提供定制流量范围。传感器通过板载集成电路（ASIC）进行*校准和温度补偿。
HAF系列> 10 SLPM在0°C至50°C [32°F至122°F]的校准温度范围内进行补偿。基于ASIC的补偿功能可提供数字（I 2 C）输出，响应时间为1 ms。
这些传感器根据传热原理来测量质量气流。它们由微晶硅微电子和微机电系统（MEMS）组成，温敏电阻沉积有铂和氮化硅薄膜。MEMS传感芯片位于且精心设计的气流通道内，以提供可重复的流量响应。
Zephyr传感器为客户提供增强的可靠性，高精度，可重复的测量以及定制传感器选项以满足许多特定应用需求的能力。坚固的外壳与稳定的基材组合使这些产品非常坚固。它们根据ISO 9001标准设计和制造。

AWM3000系列
和AWM2000系列一样，双惠斯通电桥控制气流测量。AWM3000系列被放大; 因此，它可以用来增加增益并为传感器输出引入电压偏移。加热器控制电路和感测电桥供电电路在包装上。
小心：产品损坏
AWM系列Microbridge质量型气流传感器不能用于检测液体流量，并且会因流经传感器的液体而受损。
不遵守这些说明可能会导致产品损坏。

AWM5000系列
在线流量测量
AWM5000系列Microbridge质量型空气流量传感器配有文丘里型流量外壳。他们测量的流量高达每分钟20标准升（SLPM），同时引起2.25“H 2 O的zui大压降。微桥芯片直接与流体接触，大大减少了由于孔口或旁通通道堵塞。
坚固耐用的多功能包装
坚固耐用的塑料包装设计可承受高达50 psi的共模压力，而小型传感元件可承受100 g的冲击而不影响性能。随附的“AMP”兼容连接器可在苛刻的应用中提供可靠的连接。
板载信号调理
每个AWM5000传感器都包含执行放大，线性化，温度补偿和气体校准的电路。无论流量范围（5,10,15或20 SLPM）还是校准气体（氮气，二氧化碳，氧化亚氮或氩气），所有清单都可以使用1至5 Vdc线性输出。所有校准均由主动式激光器执行。
小心：产品损坏
AWM系列Microbridge质量型气流传感器不能用于检测液体流量，并且会因流经传感器的液体而受损。 

AWM700系列
AWM700系列微型大流量气体流量传感器提供在线流量测量，并配有专门设计的旁路流量外壳。传感器测量的流量高达200标准升每分钟（SLPM），同时通常导致1英寸水柱的压降。AWM700在小型封装中具有高流量范围功能。传感器的响应时间为6毫秒，需要10 Vdc电源，但功耗仅为60 mW。紧凑的塑料包装可承受25 psi的超压而不影响性能。嵌入式AMP兼容连接器提供可靠的连接。该传感器也非常适用于便携式设备和电池供电应用。AWM700系列传感器结合了久经考验的可靠性，高精度，以及用于医疗通风市场和医疗和分析仪器应用的操作特性。其寿命的准确性减少了重新校准的需要。AWM700传感器电路执行放大和温度补偿。
小心：产品损坏
AWM系列Microbridge质量型气流传感器不能用于检测液体流量，并且会因流经传感器的液体而受损。 

AWM40000系列
概观
手术
微桥空气质量流量传感器根据传热理论进行工作。质量气流被引导穿过感测元件的表面。输出电压与通过封装的入口端口和出口端口的质量空气或其他气体流量成比例变化。专门设计的外壳地指导并控制穿过微结构传感元件的气流。封装的机械设计使其可以方便地安装到印刷电路板上。
微桥空气质量流量传感器采用*微观结构技术，具有*的硅芯片。它由包含加热器和温度感测元件的薄膜隔热桥结构组成。桥结构对芯片上空气或其他气体的流动提供了灵敏而快速的响应。位于中央加热元件两侧的双感测元件指示流动方向和流速。激光微调厚膜和薄膜电阻器提供从一个设备到下一个设备的一致互换性。
微桥空气质量流量传感器使用沉积在氮化硅薄膜内的温度敏感电阻器。它们以两个桥的形式悬浮在硅的蚀刻腔中。芯片位于尺寸的气流通道中，以提供可重复的流量响应。通过蚀刻流量传感器桥下方的腔体空间来获得对加热器和感测电阻器的高度有效的热绝缘。微桥传感器质量流量传感器的小尺寸和隔热性能是对流量响应速度极快，灵敏度高的原因。
双惠斯通电桥控制气流测量 - 一个提供闭环加热器控制，另一个包含双传感元件。通过提供与质量流量成比例的输出，加热器电路使由于环境温度变化而引起的移位zui小化。该电路使加热器温度保持在高于环境空气温度的恒定差分（160°C），该温度由芯片上的热沉电阻器感测。器件的比例电压输出对应惠斯通电桥电路的差分电压。
注意
可以将由于某些应用而导致的灰尘污染的影响降至zui低。通过设计，可能存在于气流中的尘粒将平行于芯片表面流过芯片。另外，微结构芯片产生热泳效应，从桥结构排斥微米级的尘埃颗粒。
一个简单的过滤器将防止灰尘粘附到切屑边缘和通道表面。在气流装置的上游侧使用一次性使用的五微米过滤器，可以在大多数应用中实现充分的过滤。
小心：产品损坏
AWM系列Microbridge质量型气流传感器不能用于检测液体流量，并且会因流经传感器的液体而受损。
不遵守这些说明可能会导致产品损坏。