美国MOOG伺服阀D661-4033的参数及*， MOOG公司它的产品占据了国内绝大部分的民品市场。 2 研究现状 当前电液伺服阀的研究主要集中在结构及加工工艺的改进、材料的更替及测试方 法的改变。 1）在结构改进上，目前主要是利用冗余技术对伺服阀的结构进行改造。由于伺 服阀是伺服系统的核心元件，伺服阀性能的优劣直接代表着伺服系统的水平。
另外， 从可靠性角度分析，伺服阀的可靠性是伺服系统中zui重要的一环。由于伺服阀被污染 是导致伺服阀失效的zui主要原因。对此，国外的许多厂家对伺服阀结构作了改进，先 后发展出了抗污染性较好的射流管式、偏导射流式伺服阀。而且，俄罗斯还在其研制 的射流管式伺服阀阀芯两端设计了双冗余位置传感器，用来检测阀芯位置。一旦出现 故障信号可立即切换备用伺服阀，大大提高了系统的可靠性，此种两余度技术已广泛 的应用于航空行业。而且，美国的 Moog 公司和俄罗斯的沃斯霍得工厂均已研制出四 余度的伺服机构用于航天行业。我国的航天系统有关单位早在
90 年代就已进行三余 度等多余度伺服机构的研制，将伺服阀的力矩马达、反馈元件、滑阀副做成多套，发 生故障可随时切换，保证系统的正常工作。此外多线圈结构、或在结构上带零位保护 装置、 外接式滤器等型式的伺服阀亦已在冶金、 电力、 塑料等行业得到了广泛的应用。 2）在加工工艺的改进方面，采用新型的加工设备和工艺来提高伺服阀的加工精 度及能力。如在阀芯阀套配磨方法上，上海交通大学、哈尔滨工业大学均研制出了智 能化、全自动的配磨系统。特别是哈尔滨工业大学的配磨系统改变了传统的气动配磨 的模式，采用液压油作为测量介质，更直接地反应了所测滑阀副的实际情况，提高了 测量结果的准确性与精度。上海颖哲工业自动化设备有限公司
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 美国MOOG伺服阀D661-4033的参数及*在力矩马达的焊接方面中船重工第 704 研究所与德国 厂家合作控制工程网版权所有，采用了世界的焊接工艺取得了良好的效果。另 外，哈尔滨工业大学还研制出智能化的伺服阀力矩马达弹性元件测量装置。解决了原 有手动测量法中存在的测量精度低、操作复杂、效率低等问题。对弹性元件能完 成刚度测量、得到完整的测量曲线，且不重复性测量误差不大于 1%。 3）在材料的更替上方面。除了对某些零件采用了强度、弹性、硬度等机械性能 更*的材料外。还对特别用途的伺服阀采用了特殊的材料。如德国有关公司用红宝 石材料制作喷嘴档板，防止因气馈造成档板和喷嘴的损伤，而降低动静态性能，使工 作寿命缩短。机械反馈杆头部的小球也用红宝石制作，防止小球和阀芯小槽之间的磨 损，使阀失控，并产生尖叫。航空六 O 九所、中船重工第七 O 四研究所等单位均采 用新材料研制了能以航空煤油、柴油为介质的耐腐蚀伺服阀。此外对密封圈的材料也 进行了更替，使伺服阀耐高压、耐腐蚀的性能得到提高。
4）在测试方法改进方面，随着计算机技术的高速发展生产单位均采用计算机技 术对伺服阀的静、动态性能进行测试与计算。某些单位还对如何提高测量精度，降低 测量仪器本身的振动、 热噪声和外界的高频干扰对测量结果的影响， 作了深入的研究。 如采用测频/测周法、寻优信号测试法、小波消噪法、正弦输入法及数字滤波等新技 术对伺服阀测试设备及方法进行了研制和改进。
四 发展趋势 当前，新型电液伺服阀技术的发展趋势主要体现在新型
结构的设计、新型材料的 采用及电子化、数字化技术与液压技术的结合等几方面。 1 新型结构的设计 在 20 世纪 90 年代，国外研制直动型电液伺服阀获得了较大的成就。现形成系列 产品的有 Moog 公司的 D633、D634 系列的直动阀、伊顿威格士（EatonVickers）公 司的 LFDC5V 型、德国 Bosch 美国MOOG伺服阀D661-4033的参数及*公司的 NC10 型、日本三菱及 KYB 株式会社合作开发 的 MK 型阀及 Moog 公司与俄罗期沃斯霍得工厂合作研制的直动阀等。该类型的伺服 阀去掉了一般伺服阀的前置级利用一个较大功率的力矩马达直接拖动阀芯，并由一个 高精度的阀芯位移传感器作为反馈。该阀的zui大特点是无前置级，提高了伺服阀的抗 污染能力。同时由于去掉了许多难加工 零件，降低了加工成本，可广泛使用于工业伺服控制的场合。国内有些单位如中 国运载火箭技术研究院第十八研究所、北京机床研究所、浙江工业大学等单位也研制 出了相关产品的样机。特别是北京航空航天大学研制出转阀式直动型电液伺服阀。
该 伺服阀通过将普通伺服阀的滑阀滑动结构转变为滑阀的转动，并在阀芯与阀套上相应 开了几个与轴向有一定倾角的斜槽。 阀芯阀套相互转动时， 斜槽相互开通或相互封闭， 从而控制输出压力或流量。由于在工作时阀芯阀套是相互转动的，降低了阀工作时的 摩擦阻力，同时污染物不容易在转动的滑阀内堆积，提高了抗污染性能。此外，Par k 公司开发了“音圈驱动（Voice Coil Drive）”技术（VCD），以及以此技术为基础开发 的 DFplus 控制阀。所谓音圈驱动技术，顾名思义，即是类似于扬声器的一种驱动装 置，其基本结构就是套在固定的圆柱形*磁铁上的移动线圈，当信号电流输入线圈 时，在电磁效应的作用下，线圈中产生与信号电流相对应的轴向作用力控制工程网版 权所有，并驱动与线圈直接相连的阀芯运动，驱动力很大。线圈上内置了位移反馈传 感器，因此，采用 VCD 驱动的 DFplus 阀本质上是以闭环方式进行控制的，线性度相 当好。
此外，由于 VCD 驱动器的运动零件只是移动线圈，惯量极小，相对运动的零 件之间也没有任何支承，DFplus 阀的全部支承就是阀芯和阀体间的配合面，大大减 小了摩擦这一非线性因素对控制品质的影响。综合上述的技术特点，配合内置的数字 控制模块， DFplus 阀的控制性能佳， 使 尤其在频率响应方面更是*， 可达 400Hz。 从发展趋势来看，新型直动型电液伺服阀在某些行业有替代传统伺服阀特别是喷嘴挡 板式伺服阀的趋向，但它的zui大问题在于体积大、重量重，只适用于对场地要求较低 的工业伺服控制场合。如能减轻其重量、减小其体积，在航空、航天等行业亦具 有极大的发展潜力。
 另外，近年来伺服阀新型的驱动方式除了力矩马达直接驱动外，还出现了采用步 进电机、伺服电机、新型电磁铁等驱动结构以及光-液直接转换结构的伺服阀。这些 新技术的应用不仅提高了伺服阀的性能，而且为伺服阀发展开拓了思路，为电液伺服 阀技术注入了新的活力。 2 新型材料的采用 当前在电液伺服阀研制领域的新型材料运用，主要是以压电元件、超磁致伸缩材 料及形状记忆合金等为基础的转换器研制开发。它们各具有其自己的优良特性。 2.1 压电元件 压电元件的特点是“压电效应”：在一定的电场作用下会产生外形尺寸的变化，在 一定范围内，形变与电场强度成正比。
压电元件的主要材料为压电陶瓷（PZT）、电 致伸缩材料（PMN）等。比较典型的压电陶瓷材料有日本 TOKIN 公司的叠堆型压电 伸缩陶瓷等。PZT 直动式伺服阀的原理是：在阀芯两端通过钢球分别与两块多层压电 元件相连。通过压电效应使压电材料产生伸缩驱动阀芯移动。实现电-机械转换。PM N 喷嘴挡板式伺服阀则在喷嘴处设置一与压电叠堆固定连接的挡板，由压电叠堆的伸、 缩实现挡板与喷嘴间的间隙增减，使阀芯两端产生压差推动阀芯移动。目前压电式电 -机械转换器的研制比较成熟并已得到较广泛的应用。
它具有频率响应快的特点控制 工程网版权所有，伺服阀频宽甚至能达到上千赫兹，但亦有滞环大、易漂移等缺点， 制约了压电元件在电液伺服阀上的进一步应用。 2.2 超磁致伸缩材料 超磁致伸缩材料（GMM）与传统的磁致伸缩材料相比，在磁场的作用下能产生 大得多的长度或体积变化。 利用 GMM 转换器研制的直动型伺服阀是把 GMM 转换器 与阀芯相连，通过控制驱动线圈的电流，驱动 GMM 的伸缩，带动阀芯产生位移从而 控制伺服阀输出流量。该阀与传统伺服阀相比不仅有频率响应高的特点，而且具有精 度高、结构紧凑的优点。目前，在 GMM 的研制及应用方面，美国、瑞典和日本等国 处于水平。
国内浙江大学利用 GMM 技术对气动喷嘴挡板阀和内燃机燃料喷射系 统的高速强力电磁阀，进行了结构设计和特性研究。从目前情况来看 GMM 材料与压 电材料和传统磁致伸缩材料相比，具有应变大、能量密度高、响应速度快、输出力大 等特点。世界各国对 GMM 电-机械转换器及相关的技术研究相当重视，GMM 技术水 平快速发展，已由实验室研制阶段逐步进入市场开发阶段。今后还需解决 GMM 的热 变形、磁晶各向异性、材料腐蚀性及制造工艺、参数匹配等方面的问题以利于在高科 技领域得到广泛运用。 2.3 形状记忆合金 形状记忆合金（SMA）的特点是具有形状记忆效应。将其在高温下定型后，冷却 到低温状态，对其施加外力。一般金属在超过其弹性变形后会发生*变形，而 SM A 却在将其加热到某一温度之上后，会恢复其原来高温下的形状。利用其特性研制的 伺服阀是在阀芯两端加一组由形状记忆合金绕制的 SMA 执行器，通过加热和冷却的 方法来驱动 SMA 执行器，使阀芯两端的形状记忆合金伸长或收缩，驱动阀芯作用移 动，同时加入位置反馈来提高伺服阀的控制性能。从该阀的情况来看，SMA 虽变形 量大，但其响应速度较慢，且变形不连续，也限制了其应用范围。 与传统伺服阀相比，采用新型材料的电-机械转换器研制的伺服阀，普遍具有高 频响、高精度、结构紧凑的优点。虽然目前还各自呈在某些关键技术需要解决，但新 型功能材料的应用和发展，给电液伺服阀的技术发展发展提供了新的途径。上海颖哲工业自动化设备有限公司
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 3 电子化、数字化技术的运用 目前电子化、数字化技术在电液伺服阀技术上的运用主要有两种方式